หุ่นยนต์อุตสาหกรรม MELFA สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- ต้องการทำให้กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณเป็นระบบอัตโนมัติด้วย MELFA หรือไม่
- ต้องการหุ่นยนต์ขนย้ายที่ทำงานในพื้นที่แคบระหว่างอุปกรณ์และกระบวนการได้...
- หุ่นยนต์เฉพาะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ไม่สามารถเคลื่อนที่แบบสามมิติได้...
- ต้องการใช้ในสภาพแวดล้อมพิเศษ เช่น ห้องคลีนรูม...
- แค็ตตาล็อก
- ลิงก์ที่เกี่ยวข้อง
ต้องการทำให้กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณเป็นระบบอัตโนมัติด้วย MELFA หรือไม่
กำลังพบความท้าทายในการทำให้กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นระบบอัตโนมัติหรือไม่
หุ่นยนต์อุตสาหกรรมของเราช่วยแก้ข้อกังวลต่าง ๆ ได้
คุณสมบัติต่อไปนี้จะช่วยขยายศักยภาพด้านระบบอัตโนมัติและการประหยัดแรงงานของคุณ
ต้องการหุ่นยนต์ขนย้ายที่ทำงานในพื้นที่แคบระหว่างอุปกรณ์และกระบวนการได้...
◆ RV-20FRL เป็นหนึ่งในหุ่นยนต์ payload 20kg ที่มีขนาดเล็กที่สุดในอุตสาหกรรม จึงผสานเข้ากับอุปกรณ์และกระบวนการที่มีพื้นที่แคบและช่วงการทำงานจำกัดได้
เพิ่มโมเมนต์ที่ยอมให้และความเฉื่อย
◆ เพิ่มโมเมนต์ที่ยอมให้และความเฉื่อยได้อย่างมากเมื่อเทียบกับ RV-13FRL จึงลดการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพเมื่อติดตั้งด้ามจับขนาดใหญ่
โมเมนต์ที่ยอมให้ [N・m]
| แกน | RV-13FRL | RV-20FRL |
| J4 | 19.3 | 49 |
| J5 | 19.3 | 49 |
| J6 | 11 | 11 |
ความเฉื่อยที่ยอมให้ [kgm 2 ]
| แกน | RV-13FRL | RV-20FRL |
| J4 | 0.47 | 1.4 |
| J5 | 0.47 | 1.4 |
| J6 | 0.14 | 0.86 |
หุ่นยนต์เฉพาะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ไม่สามารถเคลื่อนที่แบบสามมิติได้...
◆ หุ่นยนต์หลายข้อต่อแนวตั้งขนย้ายในแนวตั้งได้ และปรับตำแหน่งกับท่าทางได้อย่างแม่นยำ
MELFA High Drive
◆ ด้วย MELFA High Drive (ระบบควบคุมใหม่ของ Mitsubishi Electric) ทำให้ได้สมรรถนะการลดการสั่นสะเทือนระดับแนวหน้าของอุตสาหกรรม
(ใช้ได้เฉพาะรุ่นที่รองรับ MELFA High Drive)
ต้องการใช้ในสภาพแวดล้อมพิเศษ เช่น ห้องคลีนรูม...
◆ หุ่นยนต์สำหรับห้องคลีนรูมของเราทุกเครื่องผ่านการตรวจระดับฝุ่นด้วยเครื่องนับอนุภาค เพื่อให้เป็นไปตาม ISO Class 3 และจัดส่งหลังจากยืนยันแล้วว่าระดับฝุ่นต่ำกว่ามาตรฐานเท่านั้น
◆ เรายังมีรุ่นที่เหมาะสำหรับใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีละอองน้ำมันและฝุ่น จึงใช้งานได้อย่างปลอดภัยในหลายสภาวะ