Factory Automation

หุ่นยนต์อุตสาหกรรม MELFA สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

 RV-20FRL for เซมิคอนดักเตอร์ manufacturing processes คุณสมบัติ

ต้องการทำให้กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณเป็นระบบอัตโนมัติด้วย MELFA หรือไม่

กำลังพบความท้าทายในการทำให้กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นระบบอัตโนมัติหรือไม่
หุ่นยนต์อุตสาหกรรมของเราช่วยแก้ข้อกังวลต่าง ๆ ได้
คุณสมบัติต่อไปนี้จะช่วยขยายศักยภาพด้านระบบอัตโนมัติและการประหยัดแรงงานของคุณ

กลับขึ้นด้านบน

ต้องการหุ่นยนต์ขนย้ายที่ทำงานในพื้นที่แคบระหว่างอุปกรณ์และกระบวนการได้...

RV-20FRL เป็นหนึ่งในหุ่นยนต์ payload 20kg ที่มีขนาดเล็กที่สุดในอุตสาหกรรม จึงผสานเข้ากับอุปกรณ์และกระบวนการที่มีพื้นที่แคบและช่วงการทำงานจำกัดได้

กะทัดรัด design and 20kg payload

กลับขึ้นด้านบน

เพิ่มโมเมนต์ที่ยอมให้และความเฉื่อย

เพิ่มโมเมนต์ที่ยอมให้และความเฉื่อยได้อย่างมากเมื่อเทียบกับ RV-13FRL จึงลดการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพเมื่อติดตั้งด้ามจับขนาดใหญ่

โมเมนต์ที่ยอมให้ [N・m]

แกน RV-13FRL RV-20FRL
J4 19.3 49
J5 19.3 49
J6 11 11

ความเฉื่อยที่ยอมให้ [kgm 2 ]

แกน RV-13FRL RV-20FRL
J4 0.47 1.4
J5 0.47 1.4
J6 0.14 0.86

หุ่นยนต์เฉพาะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ไม่สามารถเคลื่อนที่แบบสามมิติได้...

หุ่นยนต์หลายข้อต่อแนวตั้งขนย้ายในแนวตั้งได้ และปรับตำแหน่งกับท่าทางได้อย่างแม่นยำ

Wafer transport within a confined space
FOUP transport in complex orientations
Tracking metal parts using a large handle

MELFA High Drive

ด้วย MELFA High Drive (ระบบควบคุมใหม่ของ Mitsubishi Electric) ทำให้ได้สมรรถนะการลดการสั่นสะเทือนระดับแนวหน้าของอุตสาหกรรม
(ใช้ได้เฉพาะรุ่นที่รองรับ MELFA High Drive)

รายละเอียดของ MELFA High Drive

กลับขึ้นด้านบน

ต้องการใช้ในสภาพแวดล้อมพิเศษ เช่น ห้องคลีนรูม...

หุ่นยนต์สำหรับห้องคลีนรูมของเราทุกเครื่องผ่านการตรวจระดับฝุ่นด้วยเครื่องนับอนุภาค เพื่อให้เป็นไปตาม ISO Class 3 และจัดส่งหลังจากยืนยันแล้วว่าระดับฝุ่นต่ำกว่ามาตรฐานเท่านั้น

เรายังมีรุ่นที่เหมาะสำหรับใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีละอองน้ำมันและฝุ่น จึงใช้งานได้อย่างปลอดภัยในหลายสภาวะ

Suitable for cleanroom, oil mist and dust environmet.

กลับขึ้นด้านบน

แค็ตตาล็อก

กลับขึ้นด้านบน